中国、日本、荷兰。
在能够(gou)制造机器的这几家公(gong)司中，尤其以荷(he)兰（ASML）技(ji)术最为先进。价格也最为(wei)高昂。光刻机的技术门槛极高，堪(kan)称人类智慧集大成的(de)产物。
目前在(zai)全球45纳米以下高(gao)端光刻机市场当中，荷兰ASML市场(chang)占有率达到80%以上，而且目前ASML是全球唯一能够达(da)到7纳米精度光刻机的提(ti)供商，所以ASML才是全球芯片业真正的超级霸主一点(dian)都不过分。
主要(yao)性能指标
光刻机的主要(yao)性能指标有：支持基片的尺寸范围，分辨率、对准精度、曝光方式、光源波(bo)长、光强均匀性、生产效率等。
分辨率是对光刻工(gong)艺加工可以达到的最细线(xian)条精度的一种描述方式。光刻的(de)分辨率受受光源衍射的(de)限制，所以与光源、光刻(ke)系统、光刻胶和工艺等各方面的(de)限制。
对准精(jing)度是在多层曝光时层(ceng)间图案的定位精度。
曝光方式分为接触接近式(shi)、投影式和直写(xie)式。
曝光光源波长分为紫外(wai)、深紫外和极紫外区(qu)域，光源有汞灯，准分子(zi)激光器等。
现代的高端光刻机，哪些国(guo)家才能制造？荷兰和日本。最大的(de)光刻机制造商是荷兰ASML，这是一家总部设在荷兰埃因霍芬(fen)（Eindhoven）的全球最(zui)大的半导体设备制造商之一，向全(quan)球复杂集成电路生(sheng)产企业提供领先的综合性关键设(she)备。ASML的股票分别在阿姆斯特(te)丹及纽约上市。
产品服务
ASML为半导体生产商(shang)提供光刻机及相关(guan)服务，TWINSCAN系列是目前世界上精度(du)最高，生产效率最高，应用(yong)最为广泛的高端光(guang)刻机型。目前全球绝大多数半导(dao)体生产厂商，都向ASML采购TWINSCAN机型，比如英特尔（Intel）、三星（Samsung）、海(hai)力士（Hynix）、台积电（TSMC）、中芯国际（SMIC）等。
ASML的产品线分为PAS系列、AT系列、XT系列和NXT系列，其中(zhong)PAS系列现已(yi)停产；AT系列属于老型号(hao)，多数已经停产。市场上的主力机种是(shi)XT系列以及NXT系列，为ArF和KrF激光光源(yuan)，XT系列是成熟的机(ji)型，分为干式和(he)沉浸式两种，而NXT系列则是(shi)现在主推的高端机(ji)型，全部为沉浸式(shi)。
光刻机是哪(na)个国家生产的光刻机的生产国家(jia)有荷兰、中国、日本、美国、韩国。相对于其他国家来说,目(mu)前的荷兰光刻机的精度为首。
ASML在光刻机生产的大部分零(ling)部件都是从国外进口的。专业光刻机检(jian)测采用美国技术，也采用蔡司，德国的(de)光学镜头这些都是世界顶尖技(ji)术，并不是所有都可以归一个国(guo)家所有。光刻机是人类最高智慧的结晶(jing)，需要长期的科研投入和(he)技术积累。
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